SEM Mill 精密氩离子束抛光仪

型 号:1060
价 格:0元
最新型的氩离子束加工及精密抛光系统,设计精
巧、操作简便、性能稳定。用于制备各种材料的高质
量扫描电镜样品,满足苛刻的成像及分析要求。
• 两束独立可调节的电磁聚焦氩离子源
• 高电压用于快速减薄, 低电压用于抛光
• 束斑尺寸可调
• 加工参数轻松设置
• 离子源气体独立、自动控制
• 离子束入射角度从 0˚ 到 +10˚连续可调
• 加工过程中样品360˚匀速旋转,或者往复摇摆转动
• 标准配置体式显微镜,用于直接观察样品
• 高倍显微镜及CCD相机(可选)
 详细介绍
Model 1060 SEM Mill 精密氩离子束抛光仪技术参数
离子源两束电磁聚焦离子源
加速电压范围: 100 eV - 6.0 keV,连续可调
束流密度高达10 mA/cm2
可选择单个或者两个离子源工作
独立调节两束离子源的加速电压(仅高级型)
样品台离子束入射角 0˚ 到 +10˚
最大样品尺寸:直径25mm,高度15mm
自动高度感应
360˚ 样品旋转
样品往复摇摆转动
真空系统两级真空系统:无油干泵和涡轮分子泵
皮拉尼真空规
工作气体Ar, 99.999% 纯度
流速约0.2sccm,表头压力 15psi
采用宇航技术的自动气体流量控制技术,实现离子源气流的精密流
量控制。含两个流量计
气动阀驱动气体Ar, N2, 或者干燥空气; 表头压力40 psi
样品照明用户可选的反射照明
自动终止计时器设定自动加工终止
用户界面基本型
• 触摸屏内嵌式用户界面
高级型
• 基于PC,加工策略、加工参数全编程,带系统状态显示
• 操作灯光指示器(可选项)
光学显微镜基本型:可选配一个7 – 45倍体式显微镜,用于直接观察样品
高级型:可选配一个7 – 45倍体式显微镜,用于直接观察样品;或
者选配一个2,000倍 CCD 相机,用于定点成像并显示在电脑显示屏上
尺寸基本型
宽:678mm, 高:371mm(到设备外壳上表面) / 737mm(到光学显微镜
顶端) , 深 488mm
高级型
宽:1067mm(包括电脑显示器), 高:371mm(到设备外壳上表面) /
737mm(到光学显微镜顶端), 深 488mm
重量净重73 kg
电源100/120/220/240V交流电源, 50/60赫兹, 720瓦


 

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